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激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

英文名稱：laser interferometer（激光干涉儀）

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。

單頻激光干涉儀

從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。

雙頻激光干涉儀

激光干涉儀在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應, 激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束,Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。經可逆計數器計數后,由電子計算機進行當量換算（乘 1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件,還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。

長度測量

在雙光束干涉儀中,若介質折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發生變化所造成,根據條紋的移動數可進行長度的精確比較或絕對測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀羅干涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。

折射率測定

兩光束的幾何路程保持不變,介質折射率變化也可導致光程差的改變,從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。

波長的測量

任何一個以波長為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來測量波長的方法。以國際米為標準,利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-珀羅干涉儀（標準具）曾被用來確定波長的初級標準（鎘紅譜線波長）和幾個次級波長標準,從而通過比較法確定其他光譜線的波長。

檢驗光學元件

泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡,平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡,可根據干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變,從而評估透鏡的波像差。

其他

用作高分辨率光譜儀。法布里-珀羅干涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大,因而有極高的光譜分辨率,常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。

歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播,這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗最為精確,其中最有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年,A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質中的光速的實驗,以驗明運動介質是否曳引以太。1887年,A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對絕對靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。

原 因：

1、分光板膜層面反向。

2、兩組出射光瞳錯位。

3、分光板、補償板、移動鏡及參考鏡有壓應力。

檢修方法：分光板膜層應是入射光的第二面,如裝在第一面,則調出的等傾干圓涉環是直的橢圓形干涉環,可旋松分光板的三只寬頭螺釘,取出分光 板,反過180°重新裝入金屬框內,把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調整請參考故障檢修方法。分光板,補償板的寬頭螺釘,移動鏡及參考鏡的調節滾花螺釘壓緊 力過大,使各鏡片逐步變形產生等傾干涉圓環不規則,適當放松過緊的 螺釘即可消除。

二、讀數空位大于 0.03mm

原 因：

1、傳動螺母和絲桿的配合間隙大。

2、拖板體下面的頂塊間隙偏大。

3、檔板與導軌配合過松。

檢修方法：可先調整頂塊間隙,拖板體在工作狀態下旋松頂塊螺釘,左手大拇 指將拖板體向讀數頭方向輕推,中指壓緊頂塊,然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達到要求,調整檔板與導軌的間隙達 0.02mm,再調節傳動螺母上 的兩只螺釘（老產品有四只）。

三、 轉動粗動手輪時拖板不走。

原 因：

1、儀器受強烈沖擊后,絲桿向尾架方向脫出,造成讀數頭嚙合齒輪錯位。

2、 傳動小齒輪固緊螺母松動, 造成傳動小齒輪與絲桿打滑。

3、大齒輪及粗動手輪的壓緊螺母松動。

檢修方法：首先檢查粗動手輪壓緊螺母,然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出,如已脫出,可松動尾架三只螺釘,一面將絲桿推向讀數頭,一面慢慢轉動粗動手輪,最后旋緊尾架三只螺釘,如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動,先拆去傳動盒蓋,再拆下門字架,固緊螺母,重新依次裝配即可。

四、轉動微動手輪時拖板不走。

原 因：

1、傳動小齒輪壓緊螺母松,使盆形彈簧片無壓緊力,造成 蝸輪空轉。

2、粗微動有脫開機構的干涉儀,蝸桿壓緊彈簧片失靈。

3、微動手輪壓緊螺母松。

檢修方法：先檢查微動手輪的壓緊螺母。然后打開傳動盒蓋,取下門字架,旋緊傳動小齒輪壓緊螺母,使盆形彈簧片壓緊蝸輪,此時轉動蝸輪應帶動精密絲桿,依次裝好拆下的另件。 如果是脫開機構,應檢查蝸桿拖板是否已被壓死。如被壓死,可拆 下左右壓塊,清洗、上油（7101 油脂）重新裝配即可,如蝸桿拖板較松,說明蝸桿拖板的彈簧壓力減小,1、可拆下彈簧改小 R 增加彈性。2、調換彈簧片。

五、轉動粗動手輪時,等傾干涉環從中心向外漂移。

原 因：入射的光源不垂直于移動鏡。

檢修方法：此種現象,并非儀器故障,主要是入射的光源不垂直于移動鏡,因多數易誤解為導軌直線性不好所致,故亦在此說明。首先調整干涉儀三只底腳調平螺釘,使儀器基本按放水平,然后調整光源,使擴束激光充滿固定鏡,將移動鏡調至零光程附近,轉動粗動手輪調等傾直條紋,說明擴束激光基本垂直于移動鏡,此時轉動粗動手輪出現的干涉圓環就不 會漂移。

六、白光干涉條紋不對稱。

原 因：

1、受運輸沖擊或使用過程中碰過分光板和補償板兩板平行 度已被破壞。

檢修方法：調整分光板與補償板的平行性,在沒有自準直儀時,可通過兩板同時觀察室內目標物。如日光燈,調節兩板上的寬頭螺釘,使雙象基本重合,這時調出的白光彩色條紋可達到基本對稱,如仍有不對稱現象,可調節補償板的三只寬頭螺釘達到完全對稱。

七、 波長測定值偏長。

原 因：

1、拖板體測面彈簧片壓力太緊。

2、檔板與導軌配合過緊。

3、導軌面潤滑油脂太厚。

4、蝸輪稍有打滑。

5、絲桿尾架壓緊力偏小。

檢修方法：先檢查拖板體測面的彈簧片是否太緊,如太緊可將彈簧變形減少壓力的辦法解決。第二取下拖板體,檢查開合螺母上的檔板與導軌面的配合是否過緊,如過緊可調整檔板,旋松兩只螺釘,提高檔板與導軌接觸 處墊入 0.02mm 厚的錫片,放下檔板,固緊螺釘,拿掉錫片。第三導軌如加上厚的油脂,會使拖板增加阻尼或厚的油脂上帶有雜質,會使拖板不 按導軌直線移動。應清洗后重新上油。第四檢查尾架內的彈簧,如壓緊 力偏小,可把滾花螺套旋出,將彈簧拉長即可。如遇蝸輪稍有打滑,檢修時必須小心拆裝,先拆下傳動盒蓋,拆下門字架,取下小鋼球,旋下小齒輪壓緊螺母,用專用夾具取下讀數盤, 平面軸承,盆形彈簧片、蝸輪等。在汽油中清洗、烘干,重新涂硬性潤滑油脂（杭光 3#或 7107 油脂）,重新裝配時可在平面軸承與讀數盤之間 加 0.2mm 的金屬墊片,手感磨擦力有所增加后,依次重新裝配,再進行測量檢查。

2、光學零件不用時,應存放在清潔的干燥盆內,以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。

3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時,各調整部位用力要適當,不要強旋、硬扳。

5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態。

6、經過精密調整的儀器部件上的螺絲,都涂有紅漆,不要擅自轉動。

2、位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可最大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到最佳精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。

目前,可供選擇的補償軟件有Fanuc,Siemens 800系列,UNM,Mazak,Mitsubishi,Cincinnati Acramatic,Heidenhain, Bosch, Allen-Bradley。

3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節,并給出按相關標準處理的統計結果。

4、雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。

5、數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT）,滾珠絲杠的動態特性分析,伺服驅動系統的響應特性分析,導軌的動態特性（低速爬行）分析等。

1、線性：0.5ppm .

2、測量范圍：40米（1D可選80米）

3、線性分辨力：0.001um.

4、偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

5、最大范圍：800角秒

6、滾動角精度：1.0角秒

7、直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

8、直線度最大范圍：500um

9、垂直度精度：1角秒

10、溫度精度：0.2攝氏度

11、濕度精度：5%

12、壓力精度：1mmHg

2、設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。

3、可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米。

4、可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。

5、全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架。

6、集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間。

2、激光干涉儀的光源——激光,具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。

3、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。

4、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。

5、在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。

6、儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發霉。

7、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。

8、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。

9、在使用時應避免強旋、硬扳等情況,合理恰當的調整部件。

10、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。

3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時,各調整部位用力要適當,不要強旋、硬扳。

5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態。

6、 經過精密調整的儀器部件上的螺絲,都涂有紅漆,不要擅自轉動。